產(chǎn)品型號

1200℃單溫區(qū)可傾斜旋轉(zhuǎn)爐 OTF-1200X-4-R

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V ;50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，,承重 300kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有三個冷卻風扇，殼體溫度<60℃。

2、采用高純氧化鋁纖維材料，具有的保溫性、節(jié)能性。

3 、內(nèi)爐膛表面涂有 1750℃進口氧化鋁涂層材料，有效地提高反射率及爐膛潔凈度。

4、采用上翻蓋開啟方式，操作更容易，且可快速冷卻。

5 、已通過 CE 認證。

技術參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    2.5KW

2、爐管旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速： 0-7rpm

3、爐體傾斜角度： 0-30°

4、加熱區(qū)域： 400mm

5、恒溫區(qū)域： 120mm

6 、工作溫度：  1200℃（<2h），連續(xù)工作 1100℃

7、控溫精度：± 1℃

8、產(chǎn)率： 2kg/爐

9、真空度： 4.5×10-2torr

10、泄漏率： <0.1mtorr/s

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 1300mm×600mm×1200mm；重量： 100kg

可選配件

1 、310A 不銹鋼管（外徑 ?60mm ，內(nèi)徑 ?50mm ，1220mm ，工作溫度 800℃）

2 、MTS-02 控制模塊