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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：小型兩通道供氣系統(tǒng)CGM-2F是一種緊湊型雙通道微量氣體混合供氣系統(tǒng)，輸入的兩種不同氣體通過調(diào)節(jié)壓力和流量，即可輸出一種較準(zhǔn)確的混合性氣體，可用以小型管式爐、手套箱、等離子清洗機(jī)、小型PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：精密液體氣相發(fā)生器是針對(duì)實(shí)驗(yàn)室CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的系統(tǒng)，其液體流量是通過數(shù)字液體泵來控制，流量為80ml/min，精確度為0.005ml

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z是用于控制一種到四種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z是用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z是用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)是用于控制一種到多種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐